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高壓控制設備的硬件組成
數字信號處理模塊由定點數字信號處理器TMS320F2812和D/A轉換器AD5381組成，其中2812具有高的處理速度、強大的處理功能，時鐘頻率可達150MHz，片上包含有128k的Flash、128k的ROM以及18k的RAM，滿足程序編寫的需要，同時還包含豐富的外設接口和事件管理器，十分適合于大批量數據處理的控制場合。而AD5381是一款理想的多通道數模轉換器，它具有40個數模轉換通道，12位的分辨率，具備并行、串行以及I2C三種數據傳輸方式，單通道轉換時間可以達到30ns，可以滿足模塊要求。
USB模塊選用Cypress公司的CY7C68013，該芯片具有以下優點¨1：數據吞吐量在高速傳輸模式下傳輸速率可達480 Mb/s，全速模式下傳輸速率達到12Mb/s，滿足傳輸需求；具有大容量的FIFO用于數據緩沖，當作為從設備時可采用同步或異步FIFO方式與DSP進行連接。
高壓放大模塊采用SUPERTEX公司的HV256芯片，該芯片具有32個獨立的高壓放大器，因此輸出電壓可達到295V，可以滿足靜電力驅動的要求，因此該芯片廣泛應用于MEMS靜電力驅動。
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